幕張メッセにて開催されるSEMICON JAPAN 2011へ出展致しました。会期中は多数のお客様にご来場いただきありがとうございました。

＜出展製品概要＞

◆静電容量型変位センサ　MicroSense Series(MicroSense LLC.)

　非接触で微小な変位をサブナノメートルレベルの高精度で測定、制御ができます。同方式では世界最高性能を達成しています。

◆三次元表面形状測定装置　NanoMap Series(Aep Technology Inc.)

　光学干渉方式とスタイラス方式を組合せたユニークなコンセプトの三次元表面形状測定装置です。低コストを実現しているため、少ない設備投資で多様な表面形状測定を行うことが可能です。

◆共焦点レーザ走査イメージャ　LSM-5000 Series(株式会社オプセル)

　独自の光学技術により、従来の光学顕微鏡やSEMなどでは観察できない、広い領域を高速でかつ、高解像度で観察することができます。

◆アルミシリコンカーバイトコンポジット材　MMC30-AlSiC(MC-21 Inc.)

　低熱膨張でありながら優れた熱伝導率を実現した革新的なアルミシリコンカーバイトコンポジット材です。パワーデバイスのベースプレートなど熱伝導率特性が必要とされるアプリケーションにご活用いただけます。

◆CNT透明導電膜　Clear NT Film Seires(Unidym Inc.)

　CNT(カーボンナノチューブ)を導電体に採用し、従来のITOフィルムでは困難なアプリケーションでの使用やイールドの向上が期待できます。優れた機械特性により、フレキシブルデバイスやタッチパネルなどさまざまなアプリケーションに対応できます。

◆小径ウェーハ用マルチワイヤーソー　SCS10シリーズ(株式会社トラストウェル)

　高性能ダイヤモンドワイヤにより、切断はもとより角型への切り出しが可能です。ダウンカット方式でワイヤー線速を変えることにより、シリコン以外の様々な素材の加工ができます。

展示会概要

開催日程：2011年12月7日～9日

場所：幕張メッセ

ブース位置：ホール2　2B-305