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HOME > トピックス一覧 > 真直度測定システムの製品カタログを追加致しました
2011.09.20
製品カタログに静電容量型変位センサ用真直度測定システムを追加致しました。
本システムは静電容量型変位センサ マイクロセンスと組み合わせて使用することができます。低コスト化を実現しているため、少ないコストで精密ステージの真直度評価の測定再現性や作業効率を大幅に改善することができます。
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