小型マルチワイヤーソーシステム

研究開発や実験用途で使用する小型ワークや小径ウェーハのマルチ切断加工に対応
高性能電着ダイヤモンドワイヤーにより硬脆材料の加工が可能

SCS10

SCS10

概要

小型マルチワイヤーソーモデルSCS10は、小型のワークや3インチまでの小径ウェーハなどのマルチ切断加工が可能なマルチワイヤーソーシステムです。高性能電着ダイヤモンドワイヤーを採用しており、シリコンやサファイア等の硬脆性材料の切断加工に対応しています。切断加工時間を短縮できるだけでなく、切り代や加工歪みが低減され、歩留まりの向上が期待できます。また、固定砥粒による加工のため、スラリーを使わず水性切削液を使用するため、切り粉の回収や再資源化が行えます。設備の稼働コストが低減でき、環境にも配慮した画期的なシステムです。

特長

・ 3インチまでの小型ワークまたは小径ウェーハ加工に対応

・高性能電着ダイヤモンドワイヤーによるダウンカット方式

・固定砥粒のためスラリーが不要

・ワイヤー速度を変えることにより様々な素材の加工に対応

・インデックス装置により角型切断が可能

・ダイヤモンドワイヤー径対応サイズ:0.12~0.26mm

・サファイア、SiC、GaNなどの硬脆材料の加工が可能

アプリケーション

・半導体パワーデバイス用材料

・化合物半導体材料

・水晶

・シリコン

・太陽電池

・LEDレーザー用基板材料

・排熱発電素子材料

ワイヤー駆動図

ワイヤー駆動図