概要

KerrMapperシリーズは、磁気光学カー効果を用いて最大300mmまでのウェーハと軟磁性材の垂直媒体(48～95mm)の磁気特性の測定および解析ができます。全ての磁気解析評価装置に採用されている弊社の特許技術であるダイレクト磁場制御技術により、KerrMapperは低い空間分解能での高い感度を実現します。

KerrMapprS300とV300システムは、全てのウェーハまたは高性能のヘッドやMRAMウェーハが混在して製作されたヘッドウェーハの磁気特性を自動で高速にマッピングすることができます。S300、V300システム共に手動ローディングツールと量産用全自動ツールに対応が可能です。S300とV300システムは、高磁場と低磁場の双方において非常に高い分解能で測定を行う高精度な評価解析ツールです。