概要

次世代のスピンドル評価法として注目される三点法のアルゴリズムを採用。精密スピンドルの高速回転時の動特性を1ナノメートル以下の精度で評価できる測定システムです。三点法アルゴリズムによりスピンドルの形状精度と回転精度を分離することができ、高精度な評価が可能です。マイクロセンスとの組合せにより、測定対象面の加工状態の影響を受けずに精密スピンドルを直接測定対象とした測定ができます。従来の測定法にも対応しているため、精密スピンドルの動特性評価システムとしてご活用いただけます。