6軸ヘキサポッドシステム

Invenios, Inc.はマイクロファブリケーションで培った技術を応用し、製造装置内でサブミクロンレベルでのアライメントを可能とするモーションコントロールプラットフォームを提供しています。

製造元

6軸ヘキサポッドシステム

INVENIOS, Inc.(USA)
http://www.invenios.com

InvenioSix
6軸ヘキサポッドシステム InvenioSix
サブミクロン精度で光学部品や微細加工の
高精度アライメントを可能にするモーションプラットフォーム