MicroSense, LLC.の静電容量型変位センサ(マイクロセンスシリーズ)は、非接触で測定対象の微小変位をナノメートルレベルの高い精度で測定ができます。また、高い周波数応答により、高速で回転する精密スピンドルの回転精度評価などにご活用いただけます。また、非金属測定対応のプローブとの組合せにより、従来の静電容量型変位センサでは不可能であった石英ガラスやセラミックス材の変位を直接測定することができます。
マイクロセンスは高い信頼性と安定性があるため、精度評価のみならず多くの半導体製造、検査装置内でのモーションコントロールセンサとしても広くご活用いただいております。

MicroSense, LLC.(USA)
http://www.microsense.net

優れた温度特性と高分解能を両立したハイエンドモデル マイクロセンス8800シリーズ

優れた温度特性と直線性、高分解能を実現した高性能モデルです。
安定した高性能が必要とされる半導体製造検査装置などのフィード
バック用センサに対応

シリーズ最高分解能を実現したハイエンドモデル マイクロセンス6800シリーズ

超高分解能と高速応答を実現した最高性能モデルです。サブナノメートルレベルの
分解能により、高速スピンドルの回転精度など動的なアプリケーションに対応。

高分解能と高速応答を特長としたスタンダードモデル マイクロセンス5800シリーズ

高分解能と高速応答を特長とした基本モデルです。ナノメートルレベルの
分解能により、高速スピンドルの回転精度測定など動的なアプリケーションに
対応。また、特殊プローブとの組合せにより石英ガラスやセラミックス材を
対象とした測定にも対応

優れた直線性と温度特性を特長としたスタンダードモデル マイクロセンス4800シリーズ

優れた温度特性と直線性を特長とした基本モデルです。
ナノメートルレベルの高い分解能を実現しており、姿勢制御や位置決めなど
静的なアプリケーションに対応

作業効率を改善し高精度な測定を実現する測定システム 計測支援システム　STN-01

精密ステージの真直度評価などさまざまな変位計測を容易に行うことができる計測支援ツールです。使いやすさと多彩な機能を両立させており、低い導入コストで現場での測定作業効率を大幅に改善することができます。

高い精度と低コストを両立させた組込み専用モデル マイクロセンスMini

装置への組み込みを目的とした精密ステージの位置、姿勢制御用フィード
バックセンサです。高い分解能と安定性を有しながら、低コスト化を実現した
コストパフォーマンスの高いモデルです。

スピンドルの動特性を高精度に解析するハイエンド測定システム スピンドル動特性解析システム

次世代のスピンドル評価法として注目される三点法アルゴリズムを採用。
マイクロセンスシリーズとの組合せにより、精密スピンドルの動特性を1ナノ
メートル以下の精度で評価できる測定システムです。