接触式三次元表面形状測定装置
NanoMap-500LS
概要
スタイラスを使用したNanoMap-500LSは、従来の接触式表面形状測定装置や走査型顕微鏡など高精度で二次元や三次元の測定イメージを必要とされるユーザーに違和感なくお使いいただける測定装置です。
最大150mm x 150mmのスキャンエリアにおいて、優れた再現性と超低針圧を実現し、様々な素材の微小な表面形状を測定することができます。研究開発から量産現場など様々な分野でご活用いただけます。
測定データの分析には、多機能で使い易いSPIPソフトウェアを採用しています。ユーザーは多種の測定ライブラリを選択することができ、様々なアプリケーションでの表面解析を行うことができます。NanoMap-500LSはAFMと同等の性能を持ち、かつ多機能で広い走査範囲で測定ができる測定装置です。
特長
・ピエゾ駆動によるスキャニング
・2次元、3次元の両イメージの取得が可能
・Z軸測定範囲:1nm-0.5mm
・X-Y軸測定範囲:1nm-150mm(ステージスキャンモード時)
・シンプルで使い易いソフトウェア
・スキャン中の状態が確認できる光学カメラを搭載
アプリケーション
・ステップハイト測定
・表面粗さ測定
・表面の傷、孔や摩耗痕の深さや幅、量などの測定
・平面度やひずみ測定
・2次元での薄フィルムのストレス測定
・フィルム厚み測定
・表面の形状測定(欠陥や形状など)