6軸ヘキサポッドシステム

サブミクロン精度で光学部品や微細加工の
高精度アライメントを可能にするモーションプラットフォーム

InvenioSix

InvenioSix

概要

InvenioSixは小さな耐荷重物をサブミクロンの高い精度と優れた安定性により6自由度のアライメントができる汎用モーションプラットフォームです。InvenioSixは、従来の6軸運動機構よりも優れた性能を持つ革新的なパラレル運動機構を採用しています。InvenioSixは、既存製品に対して堅牢で高い安定性と高耐荷重を実現しています。
制御ソフトウェアには6軸ロボットで使用される制御ソフトウェアを搭載しており、オプションとして画像処理機能を追加することができ、機能を拡張させることができます。ソフトウェアでは、ピボット点(ツール中心点)の位置と座標系をモーションシーケンス上で簡単に設定することができます。
InvenioSixのメカニズムは、6つの高分解能エンコーダを介したクローズドループ制御を採用していますが、追加アナログ入力によるリアルタイムのクローズドループフィードバックシステムへ拡張することができます。また、オプションとして組込まれる画像処理システム(GPIB(IEEE)を介した入力)やユーザーが提供する独自のハードウェアとDLLファイルをセカンダリのクローズドループ制御システムとして使用することができます。InvenioSixは、オプションとして提供された世界で唯一の完全クローズドループ制御の汎用型完全6軸位置決め機構です。この特長により高分解能が必要とされる計測でご活用いただけます。

特長

・パラレルリンク機構採用
・クローズドループ制御による高精度な位置決め
・優れた安定性と耐荷重
・ソフトウェアによりピボットポイントを任意に設定可能
・画像処理機能などの追加が可能

アプリケーション

・画像処理装置のアライメント
・レーザーやコリメータのアライメント制御

・光学部品の自動アライメント
・高精度アッセンブリユニット内での制御
・微細加工やマニピュレーターなどの機構

主な仕様

直線移動距離 X,Y:±15mm, Z:+10/-13mm
回転移動範囲 X,Y:±9.75°, Z:±9.25°
最小直線移動ピッチ X,Y:33nm, Z:23nm
最小回転移動ピッチ 0.235urad
直線移動速度 X,Y:25mm/s, Z:17mm/s
回転移動速度 10°/sec
積載荷重 4kg*1, 1kg*2
動作環境 温度:17-25℃, 湿度:80%RH以下
本体寸法 290mm(W) x 265mm(L) x 174mm(H)
重量 11kg

*1: トッププレート中心位置
*2: トッププレート中心から150mmオフセット時