マイクロセンスによるさまざまな運動精度評価を強力にサポート
使いやすさと多彩な機能により高精度変位計測の作業効率を大幅に改善します
計測支援システム
概要
マイクロセンスとの組合せにより、測定基準面の表面状態の影響を受けることなく、精密ステージなどのさまざまな運動精度の測定ができます。マイクロセンスによって得られた測定データをソフトウェア上でリアルタイムに計測できるだけでなく、多彩な機能との組合せにより、高精度測定を容易に行うことができます。
真直度測定機能では、従来、測定毎に行っていたセンタリング補正の作業をソフトウェア上で自動補正できるため、作業効率が格段に改善されます。ユーザーは測定を自動モード、半自動モードのいずれかを選択できるため、従来行ってきた手法を変えることなく対応が可能です。低コスト化を実現しており、既存データロガーの置換えとしてご活用いただけます。
特長
・静電容量型変位センサによる非接触測定
・高精度リアルタイム変位測定
・測定モードの選択が可能(チャート、データロガー自動/手動)
・多彩な機能による作業効率の改善
・真直度測定アルゴリズムの選択が可能
・測定データを容易にデジタルデータ化
・低コストでの導入が可能
主な機能
･X、Y軸スケール変更（固定スケール、自動スケール）
･X、Y軸オフセット
･軸表示変更（X軸：時間/距離 Y軸：電圧/変位）
･カーソル表示（水平バー：秒/周期、垂直バー：秒/周期）
･スムージング
･各種フィルタ機能
･言語選択(日本語/英語)
測定機能
･真直度測定（ベストフィット補正、3点指示補正)
･最大値、最小値、Peak-Peak値、平均値、中央値
主なアプリケーション
・精密ステージの真直度測定
・精密ステージの送り精度や繰り返し位置決め評価
・ワークの形状測定
・その他微小変位測定
