光学式三次元表面形状測定装置
NanoMap-O
概要
白色光を利用した高解像度スキャンにより、表面形状が容易に高精度で測定できる装置です。NanoMap-Oは、表面のラフネスや寸法、ステップハイト、フィルム厚みなど表面形状測定が必要とされる様々な用途にご活用いただけます。また、全ての項目を非接触で高速に測定することができます。
高品位の光学系と低マシンノイズ、独自の技術の組合せにより、200万画素以上でのイメージで、0.001nmの分解能が実現できます。
測定データの分析には、多機能で使い易いSPIPソフトウェアを採用しています。ユーザーは多種の測定ライブラリを選択することができ、様々なアプリケーションでの表面解析を行うことができます。
特長
･非接触測定
･CCD画素数：200万画素
･0.001nm分解能
･Z軸測定範囲：1nm-50 mm
･X-Y軸測定範囲：最大150 x 150mm
･超高解像度デジタル画像センサによる測定
･既存品に比べ13倍のデータ量を瞬時に取得
･高輝度型白色LEDの光源により長寿命
アプリケーション
･ステップハイト測定
･表面粗さ測定
･表面の傷、孔や摩耗痕の深さや幅、量などの測定
･平面度やひずみ測定
･2次元での薄フィルムのストレス測定
･フィルム厚み測定
･表面の形状測定(欠陥や形状など)
