概要

InveniroFlexは、最先端技術でのナノポジショニングが必要とされるアプリケーションに対応できます。ステージは有効荷重が500gまで対応しており、サブナノメートルの精度と高い安定性を実現しています。また、1mmまでの動作範囲に対応しているため、高感度、低ノイズ、サブミクロンスキャンが必要とされる原子力間顕微鏡(AFM)などのアプリケーションでご活用いただけます。独自の設計により、ロングスキャンレンジでありながら、高剛性で高い応答性と精度の両立を可能としました。また、クローズドループセンサーシステムを利用したフィードバックシステムにより、スキャン時の影響を取り除き、高い精度で正確な画像の取得が可能です。