三次元表面形状測定装置

Aep Technology社の三次元表面形状測定システムは、高精度で微細な表面形状を測定することができるため、新しい製品や素材の開発、既存製品の品質強化などにご活用いただけます。スタイラスおよび光学方式をそれぞれラインナップしており、操作性や性能に優れた革新的なシステムです。本システムは200万画素以上でのイメージ取得が可能で、ピコメートルレベル(0.001nm相当)の分解能が実現できます。

製造元

三次元表面形状測定装置

Aep Technology Inc.(USA)
http://www.aeptechnology.com

NanoMap-500LS
接触式三次元表面形状測定装置 NanoMap-500LS
スタイラスを使用して測定表面を3次元で計測する測定装置です。
NanoMap-O
光学式三次元表面形状測定装置 NanoMap-O
光学系を使用して測定表面を非接触3次元で計測する測定装置です。
NanoMap-D
ユニバーサル三次元表面形状測定装置 NanoMap-D
世界で唯一、光学式三次元表面形状測定と接触式三次元表面形状測定を同一のプラットフォームに搭載したモデルです。