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太陽電池セルの性能評価の効率を格段に改善する革新的な評価システム
スパッタリング直後に記録層の磁気特性の均一性を判定する磁気特性評価装置
高性能電着ダイヤモンドワイヤーにより小型ワークや小径サイズウェーハのマルチ切断加工に最適なマルチワイヤーソーシステム
非接触で微小変位をナノメートルレベルで測定、制御できる超高精度変位センサ
光学干渉方式とスタイラス方式を組合せたユニークコンセプトの三次元表面形状測定装置
広い領域を高精度に高速観察が可能
ロングスキャンレンジとクローズドループ制御による既存AFM装置の測定性能を改善
高い安定性と搭載荷重を実現し、サブミクロンレベルでの6軸のパラレル制御が可能
カーボンナノチューブ(CNT)の技術を応用し優れた柔軟性と光学特性を実現した透明導電膜
銅よりも低い熱膨張係数とアルミニウムよりも高い熱伝導率と高剛性を実現
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