| モデル 3016/3046 | センササイズ(mm) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.7 | 5.3 | 9.1 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.025 0.250 0.200 |
0.012 0.250 0.100 | ||
| +/-50 | M L T |
0.050 0.250 0.250 |
0.012 0.250 0.025 |
0.012 0.250 0.050 |
||
| +/-100 | M L T |
0.050 0.250 0.250 |
0.012 0.250 0.050 |
|||
| +/-250 | M L T |
0.250 0.500 0.500 |
0.050 0.500 0.150 |
0.025 0.500 0.150 |
||
| +/-500 | M L T |
0.125 1.000 0.375 |
0.050 1.000 0.375 |
|||
| +/-1000 | M L T |
0.375 2.500 0.625 |
||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 3401 | センササイズ(mm) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.7 | 5.3 | 9.1 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.012 0.250 0.200 |
0.012 0.250 0.100 | ||
| +/-50 | M L T |
0.012 0.250 0.250 |
0.012 0.250 0.125 |
0.012 0.250 0.025 |
||
| +/-100 | M L T |
0.025 0.250 0.250 |
0.012 0.250 0.050 |
|||
| +/-250 | M L T |
0.050 0.500 0.500 |
0.012 0.500 0.150 |
0.012 0.500 0.150 |
||
| +/-500 | M L T |
0.025 1.000 0.375 |
0.012 1.000 0.375 |
|||
| +/-1000 | M L T |
0.125 2.500 0.625 |
||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 3401HR | センササイズ(mm) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.7 | 5.3 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-10 | M L T |
0.001 0.020 0.020 |
||
| +/-25 | M L T |
0.003 0.050 0.050 |
0.003 0.050 0.050 |
||
| +/-50 | M L T |
0.005 0.100 0.100 |
0.005 0.100 0.100 |
0.005 0.100 0.100 |
|
| +/-100 | M L T |
0.010 0.200 0.200 |
0.010 0.200 0.200 |
||
| +/-250 | M L T |
0.025 0.500 0.500 |
0.025 0.500 0.500 |
||
| +/-500 | M L T |
0.050 1.000 1.000 |
|||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 3820N | センササイズ(mm) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1 | 2 | 5 | 10 | 0.50x2.50 | 1.00x4.00 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.005 0.250 0.005 |
0.003 0.250 0.005 |
0.003 0.250 0.005 |
0.002 0.250 0.005 |
0.003 0.250 0.005 |
0.003 0.250 0.005 |
|
| +/-50 | M L T |
0.015 0.500 0.010 |
0.010 0.500 0.010 |
0.006 0.500 0.010 |
0.004 0.500 0.010 |
0.010 0.500 0.010 |
0.006 0.500 0.010 |
||
| +/-100 | M L T |
0.030 1.000 0.020 |
0.015 1.000 0.020 |
0.008 1.000 0.020 |
0.006 1.000 0.020 |
0.030 1.000 0.020 |
0.015 1.000 0.020 |
||
| +/-250 | M L T |
0.045 2.500 0.050 |
0.012 2.500 0.050 |
0.020 2.500 0.050 |
0.045 2.500 0.050 |
||||
| +/-500 | M L T |
0.028 5.000 0.100 |
0.030 5.000 0.100 |
||||||
| +/-1000 | M L T |
0.060 10.000 0.200 |
|||||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 3820H | センササイズ(mm) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.0 | 2.0 | 5.0 | 10.0 | 0.50x2.50 | 1.00x4.00 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.005 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
0.002 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
|
| +/-50 | M L T |
0.015 0.100 0.010 |
0.010 0.100 0.010 |
0.006 0.100 0.010 |
0.004 0.100 0.010 |
0.010 0.100 0.010 |
0.006 0.100 0.010 |
||
| +/-100 | M L T |
0.030 0.200 0.020 |
0.015 0.200 0.020 |
0.008 0.200 0.020 |
0.006 0.200 0.020 |
0.030 0.200 0.020 |
0.015 0.200 0.020 |
||
| +/-250 | M L T |
0.045 0.500 0.050 |
0.012 0.500 0.050 |
0.020 0.500 0.050 |
0.045 0.500 0.050 |
||||
| +/-500 | M L T |
0.028 1.000 0.100 |
0.030 1.000 0.100 |
||||||
| +/-1000 | M L T |
0.060 2.000 0.200 |
|||||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 5410 | センササイズ(mm) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.0 | 2.0 | 5.0 | 0.64x3.18 | 0.64x3.18 | 1.72x4.00 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.005 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
0.003 0.050 0.005 |
||||
| +/-50 | M L T |
0.015 0.100 0.010 |
0.010 0.100 0.010 |
0.006 0.100 0.010 |
0.004 0.100 0.010 |
0.010 0.100 0.010 |
0.006 0.100 0.010 |
||
| +/-100 | M L T |
0.030 0.200 0.020 |
0.015 0.200 0.020 |
0.008 0.200 0.020 |
0.006 0.200 0.020 |
0.030 0.200 0.020 |
|||
| +/-250 | M L T |
0.012 0.500 0.050 |
|||||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
| モデル 3890J | センササイズ(mm) | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 0.5 | 1.0 | 2.0 | 5.0 | 10.0 | 0.50x2.50 | 1.00x4.00 | |||
| 測定フルスケール (um) |
+/-25 | M L T |
0.005 0.030 0.005 |
0.003 0.030 0.005 |
0.003 0.030 0.005 |
0.002 0.030 0.005 |
0.003 0.030 0.005 |
0.003 0.030 0.005 |
|
| +/-50 | M L T |
0.015 0.050 0.010 |
0.010 0.050 0.010 |
0.006 0.050 0.010 |
0.004 0.050 0.010 |
0.010 0.050 0.010 |
0.006 0.050 0.010 |
||
| +/-100 | M L T |
0.030 0.100 0.020 |
0.015 0.100 0.020 |
0.008 0.100 0.020 |
0.006 0.100 0.020 |
0.030 0.100 0.020 |
0.015 0.100 0.020 |
||
| +/-250 | M L T |
0.045 0.250 0.050 |
0.012 0.250 0.050 |
0.020 0.250 0.050 |
0.045 0.250 0.050 |
||||
| +/-500 | M L T |
0.028 0.500 0.100 |
0.030 0.500 0.100 |
||||||
| +/-1000 | M L T |
0.060 1.000 0.200 |
|||||||
M=測定分解能(um) L=出力直線性(um) T=出力温度特性(um/°C)
製品の保守対応ついて
静電容量型変位計マイクロセンスの保守対応を以下の通りとさせて頂きますのであらかじめご了承ください。
保守部品供給期限：販売終了後5年 *1*2
製品保証期間：納入後1年 *3
*1 保守部品は入手可能な限り5年経過後も対応させて頂きます。
*2 動作確認及び再校正等については可能な限り継続して対応させて頂きます。
*3 製品の補償範囲は基本動作として校正値等の性能の範囲は含みません。
