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静電容量型変位センサ

静電容量型変位センサは様々な分野のアプリケーションで活用されています。ご検討されているアプリケーションへの対応などご不明な点がございましたらお気軽にご相談下さい。

精密スピンドルの回転精度評価
精密スピンドルの回転精度評価
非金属物質やグラウンドが不完全な測定対象の変位測定
非金属物質やグラウンドが不完全な測定対象の変位測定
精密ステージの真直度評価
精密ステージの真直度評価
太陽電池ウェーハの厚み測定
太陽電池ウェーハの厚み測定
精密ステージの送り精度評価や位置決め機構
精密ステージの送り精度評価や位置決め機構
高速振動体のフィードバック制御
高速振動体のフィードバック制御
半導体検査製造装置内での姿勢制御
半導体検査製造装置内での姿勢制御
半導体検査装置内でのフォーカス制御
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ウェーハやディスクなどの厚み測定
ウェーハやディスクなどの厚み測定
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