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静電容量型変位センサ

静電容量型変位センサ

非接触で微小変位をナノメートルレベルで測定、制御できる超高精度変位センサ

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三次元表面形状測定装置

三次元表面形状測定装置

高精度で微細な表面形状を測定することができるため、新しい製品や素材の開発、既存製品の品質強化などにご活用いただけます。

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共焦点レーザ走査イメージャ

共焦点レーザ走査イメージャ

従来の光学顕微鏡では対応できない広い領域の高解像度観察が可能

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プロセス装置

計測装置

プロセス材料

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