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非接触で微小変位をナノメートルレベルで測定、制御できる超高精度変位センサ
高精度で微細な表面形状を測定することができるため、新しい製品や素材の開発、既存製品の品質強化などにご活用いただけます。
従来の光学顕微鏡では対応できない広い領域の高解像度観察が可能
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